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主動隔震臺從低頻振動抑制到六自由度精密控制
2025-06-12

主動隔震臺作為高精度實驗設(shè)備的“穩(wěn)定基石”,通過主動反饋控制技術(shù),可實時抵消環(huán)境振動對精密儀器的影響,廣泛應(yīng)用于激光共聚焦顯微鏡、掃描電鏡及原子力顯微鏡等領(lǐng)域。其核心功能涵蓋低頻振動抑制、六自由度主動控制、環(huán)境適應(yīng)性設(shè)計及智能監(jiān)測四大維度,...

  • 2022-11-25

    一、特點固有振動頻率是指某種物體共振的頻率,阻尼則是指在振動運動中消除能量、以減輕振動的特點。固有振動頻率與地基振動的振動頻率比(f/fn)稱作振動傳遞率,是判定隔振效果的標(biāo)準(zhǔn)。固有振動頻率愈小、地基振動頻率愈大,隔振臺的隔振效率愈高。也就是說,振動傳遞率愈低,隔振效果愈佳。振動頻率比(f/fn)低于1.414時為增幅,數(shù)值為1時固有振動頻率與地基振動頻率相同,高于1.414則實現(xiàn)隔振。隔振臺一般分為線圈彈簧(CoilSpring)和空氣彈簧(AirSpring)兩種,線圈彈...

  • 2022-11-25

    HERZ是聞名的隔振臺系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時代,極之微細(xì)的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的最佳效能,達(dá)到最佳成果。從高層次的研究乃至各個行業(yè)的基本生產(chǎn),要想有效地發(fā)展納米技術(shù),消除振動尤為重要!在過去的40年里,HERZ已發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的主流供應(yīng)商,在該領(lǐng)域積累了豐富經(jīng)驗。與此同時,測量技術(shù)有了很大進(jìn)步,一些靈敏的設(shè)備會受到被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾,此類干擾唯有主動式隔振系統(tǒng)能夠消除。因此,HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)...

  • 2022-11-24

    接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應(yīng)用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準(zhǔn)確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介紹集成電路特征尺寸的持續(xù)縮小,對化學(xué)機械拋光后的平整度要求日益提高。氧化釔(Y2O3)是一種非常有前景的抗等離子涂層材料,可作化學(xué)機械拋光(CMP)磨料,應(yīng)用十分廣泛。因其優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和對具有高氧親和力的堿性熔體的出色耐受性,Y2O3被用在許多特殊材料上,例如絕緣體、玻璃、導(dǎo)...

  • 2022-11-24

    FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),光學(xué)膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程,可在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學(xué)膜厚儀模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺,集成了先進(jìn)的光學(xué)、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學(xué)參數(shù)。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。該機型光學(xué)模塊功能強大,可測量的光...

  • 2022-11-24

    掩模對準(zhǔn)光刻機是將二維圖案轉(zhuǎn)印到平坦基板上的方法。可以通過以下兩種基本方法之一實現(xiàn)圖案化:直接寫入圖案,或通過掩模版/印章轉(zhuǎn)移圖案。限定的圖案可以幫助限定襯底上的特征(例如蝕刻),或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計算機輔助設(shè)計(CAD)定義圖案模式。多數(shù)情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過物理沖壓(不需要抗蝕劑,也叫納米壓印)來定義圖案特征。圖案的特征可以被轉(zhuǎn)移到另一個層蝕刻,電鍍或剝離。掩模對準(zhǔn)光刻機的技術(shù)領(lǐng)域...

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