在過去的幾十年中，生物技術設備的小型化極大地改善了臨床診斷，藥物研究和分析化學?，F(xiàn)代生物技術設備，例如用于診斷，細胞分析和藥物發(fā)現(xiàn)的生物醫(yī)學MEMS，通常是基于芯片的，并且依賴于微米級和納米級生物物質的緊密相互作用。根據(jù)市場研究報告，越來越多的醫(yī)療保健應用正在使用bioMEMS組件。受諸如即時點測試，臨床和獸醫(yī)診斷等應用的推動，到2021年，已占生物MEMS市場總量的86％。
NIL納米壓印光刻技術已從利基技術演變?yōu)閺姶蟮拇笈恐圃旆椒?，該方法可通過將印跡或生物印跡到生物相容性上，從而大規(guī)模生產多種不同大小和形狀的結構，例如高度復雜的微流體通道和表面圖案抵抗或直接進入散裝材料。除了結構技術外，密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過程。因此，不同器件層，覆蓋層或互連層的鍵合是關鍵過程，可以與NIL一起以經(jīng)濟高效的大面積批量過程實現(xiàn)。作為NIL和晶圓鍵合的先驅以及市場和技術先進者，
EVG的NIL納米壓印光刻技術解決方案可以在生物技術應用中使用的各種基板材料上制造各種小型結構，包括玻璃，硅和多種聚合物。每個EVG NIL解決方案都*地適合于不同的生產應用。例如，熱壓花可精確刻印較大的結構以及微結構和納米結構的組合，并且在復制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時非常出色。UV-NIL可在納米范圍內提供較高的精度，圖案逼真度和產量。微接觸印刷是另一種NIL選項，可以將諸如生物分子之類的材料以*的圖案轉移到基材上。
憑借其成熟的晶圓級鍵合設備，EVG還可以提供與NIL納米壓印光刻結構技術匹配的密封和鍵合工藝。提供各種不同的鍵合選項，從先進的室溫鍵合技術到等離子活化鍵合以及高質量的氣密密封和真空封裝。典型解決方案的示例包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱粘合設備，該設備通過在大面積上實現(xiàn)高壓和溫度均勻性而提供出色的結果。EVG還提供了其室溫選擇性粘合劑轉移技術，該技術可在封裝設備之前簡化生物分子的摻入。
